Plan-C フレキシブル基板対応 Roll to Rpll Coater量産対応装置
エアフルトで開催されたPSE 2024 の展示会に出展していた会社情報を設備例に落とし込んで紹介しています。

上記のような設備仕様に対応したメーカーのリンク一覧です。
下のリストで興味あるメーカー名をクリックすると、メーカーの紹介へ移動します。
構成メーカーリスト
構成 | メーカー名 |
---|---|
①装置全体 | VON ARDENNE GmbH |
②Depo.Source | Gencoa |
②Depo.Source | Sputtering Components |
②Depo.Source | TFC GmbH |
③真空バルブ | VAT Deutschland GmbH |
④真空ポンプ | Pfeiffer Vacuum |
⑤TMP | Shimadzu/Infraserv Vakuumservice GmbH |
①装置全体
VON ARDENNE GmbH
- メーカーカテゴリー:各種真空成膜装置、他
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Gencoa
- メーカーカテゴリー:Plasma Monitor, Cathode
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Sputtering Components
- メーカーカテゴリー:ロータリー・カソード製造
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TFC GmbH
- メーカーカテゴリー:各種マグネトロン・カソード、他
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VAT Deutschland GmbH
- メーカーカテゴリー:真空バルブ製造
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Pfeiffer Vacuum
- メーカーカテゴリー:真空ポンプ、コンポーネント他
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Shimadzu/Infraserv Vakuumservice GmbH
- メーカーカテゴリー:TMP
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