Plan-B　Wafer基板・カセットtoカセット　量産対応装置

2025/3/26 19:352025/4/1 0:36

エアフルトで開催されたPSE 2024 の展示会に出展していた会社情報を設備例に落とし込んで紹介しています。

上記のような設備仕様に対応したメーカーのリンク一覧です。下のリストで興味あるメーカー名をクリックすると、メーカーの紹介へ移動します。

構成メーカーリスト

構成	メーカー名
①装置全体	Kontron AIS GmbH
①装置全体	Von Ardenne GmbH
①装置全体	FHR Anlagenbau GmbH
②電源	Advanced Energy
②電源	Ionautics
②電源	MELEC GmbH
③Vacuum Chamber	RHP-Technology GmbH
④Monitor	PLASUS GmbH
⑤MFC	Brooks Instrument GmbH
⑥Depo.Source	Gencoa
⑥Depo.Source	Sputtering Components
⑥Depo.Source	TFC GmbH
⑦Robotics	LSA Automation

①装置全体

Kontron AIS GmbH

メーカーカテゴリー：電気制御系改造

Kontron AIS | The Benchmark in Industrial Software

Neue Wege in der Automatisierung gehen und Wettbewerbsvorteile sichern: industrielle Software für Maschinen- und Anlagenbauer sowie Fabrikbetreiber.

https://kontron-ais.com/

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Von Ardenne GmbH

メーカーカテゴリー：各種真空成膜装置、他

Vacuum coating systems from the technology leader

We offer vacuum coating systems and technologies for applications in research and industry. They are used, for example, in the field of renewable energies.

https://vonardenne.com/

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FHR Anlagenbau GmbH

メーカーカテゴリー：各種真空成膜装置、他

FHR Anlagenbau GmbH - The Thin Film Company

FHR Anlagenbau - Ihr Experte für individuelle Vakuumbeschichtungsanlagen und effiziente Materialien | Unsere Technologien für die Zukunft!

https://www.fhr.biz/

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②電源

Advanced Energy

メーカーカテゴリー：各種電源

Our long history of innovation and technology leadership, broad portfolio of proprietary products and global technical talent help solve our customers' most challenging power delivery problems for:

https://www.advancedenergy.com/

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Ionautics

メーカーカテゴリー：HiPMS技術関連

Home page - Ionautics

At the core of HiPIMS Learn More Patent Families Customers > Countries For us it was natural to choose products to our fleet of industriel PVD machines from Ionautics. Outstanding quality, world leading knowledge and they really know how to handle industrial customers. SAYS THE CEO AT A JAPANESE WORLD LEADING TOOLING INDUSTRY. My team […]

https://ionautics.com/

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MELEC GmbH

メーカーカテゴリー：DC電源他

Start - MELEC GmbH

MELEC GmbH develops and manufactures electrical pulse generators to produce pulsed plasmas in vacuum technology for production of functional coating systems. Our products are utilized for the generation of highly ionized plasma discharges, often called HiPIMS.

https://www.melec.de/

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③Vacuum Chamber

RHP-Technology GmbH

メーカーカテゴリー：各種Target材料、他

Blättern Sie durch unsere Liste an High-Tech Produkten oder lassen Sie uns wissen, bei welchem Projekt können wir Ihnen heute kompetent zur Seite stehen dürfen? Durchsuchen Sie unsere Services, Produkte und die von uns eingesetzen innovativen Technologien - oder wählen Sie Ihre Branche und erfahren mehr über Ihre Möglichkeiten!

https://rhp.at/de

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④Monitor

PLASUS GmbH

メーカーカテゴリー：プラズマモニター、コントローラー他

PLASUS GmbH – Spectroscopic plasma monitoring and process control

PLASUS introduces its latest cutting edge development for HIPIMS and pulsed plasma applications: The unprecedented time resolution of the new EMICON FS system sets groundbreaking and worldwide unique standards in industrial process control.

https://www.plasus.de/

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⑤MFC

Brooks Instrument GmbH

メーカーカテゴリー：MFC他

Flow Control & Measurement | Flow Meters & Instruments | Brooks

Brooks Instrument is the global leader in flow and pressure instrumentation, enabling precision process control for industrial and semiconductor applications.

https://www.brooksinstrument.com/

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⑥Depo.Source

Gencoa

メーカーカテゴリー：Plasma Monitor, Cathode

Gencoa // Perfect your process

Gencoa is a vacuum coating company providing vacuum technology and vacuum coating solutions. Learn about our range of magnetrons and process control equipment today.

https://www.gencoa.com/

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Sputtering Components

メーカーカテゴリー：ロータリー・カソード製造

Sputtering Components: Equipment for thin film technology

Rotary cathodes, magnetrons for sputtering thin films on glass, touch and display screens, solar panels, automotive and decorative parts, optics, electronics

https://www.sputteringcomponents.com/

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TFC GmbH

メーカーカテゴリー：各種マグネトロン・カソード、他

Home TFC - TFC GmbH

Taking care for our customers needs and for market demands for more than 30 years. The basics of the IONIX® planar magnetrons is our passion for technology

https://www.tfc-gmbh.eu/

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LSA Automation

メーカーカテゴリー：特殊機械、プロセスの自動化

Automationslösungen mit Anspruch. Von Experten mit Leidenschaft. - LSA GmbH

Seit 30 Jahren Kompetenz in Automation. Intelligente Komplettlösungen für Ihre individuellen Anspruch | Automatisierungstechnik, Automation, Sondermaschinen, Antriebstechnik, Elektrische Mess-, Steuer- und Regelungstechnik, Antriebstechnik und industrielle Softwareentwicklung

https://www.lsa-gmbh.de/

上記リンクをクリックするとメーカーのページへ移動します。

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