Plan-A　ワーク基板平流しインライン式量産対応装置

2025/3/26 19:322025/4/1 0:20

エアフルトで開催されたPSE 2024 の展示会に出展していた会社情報を設備例に落とし込んで紹介しています。

上記のような設備仕様に対応したメーカーのリンク一覧です。下のリストで興味あるメーカー名をクリックすると、メーカーの紹介へ移動します。

構成メーカーリスト

構成	メーカー名
①装置全体	VON ARDENNE GmbH
①装置全体	FHR Anlagenbau GmbH
②電源	Ionautics
②電源	Advanced Energy
③MFC	Brooks Instrument GmbH
④真空バルブ	VAT Deutschland GmbH
⑤真空ポンプ	Pfeiffer Vacuum
⑤真空ポンプ	Shimadzu/Infraserv Vakuumservice GmbH
⑥Depo.Source	Gencoa
⑥Depo.Source	Sputtering Components
⑥Depo.Source	TFC GmbH

①装置全体

VON ARDENNE GmbH

メーカーカテゴリー：各種真空成膜装置、他

Vacuum coating systems from the technology leader

We offer vacuum coating systems and technologies for applications in research and industry. They are used, for example, in the field of renewable energies.

https://vonardenne.com/

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FHR Anlagenbau GmbH

メーカーカテゴリー：各種真空成膜装置、他

FHR Anlagenbau GmbH - The Thin Film Company

FHR Anlagenbau - Ihr Experte für individuelle Vakuumbeschichtungsanlagen und effiziente Materialien | Unsere Technologien für die Zukunft!

https://www.fhr.biz/

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②電源

Ionautics

メーカーカテゴリー：HiPMS技術関連

Home page - Ionautics

At the core of HiPIMS Learn More Patent Families Customers > Countries For us it was natural to choose products to our fleet of industriel PVD machines from Ionautics. Outstanding quality, world leading knowledge and they really know how to handle industrial customers. SAYS THE CEO AT A JAPANESE WORLD LEADING TOOLING INDUSTRY. My team […]

https://ionautics.com/

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Advanced Energy

メーカーカテゴリー：各種電源

Our long history of innovation and technology leadership, broad portfolio of proprietary products and global technical talent help solve our customers' most challenging power delivery problems for:

https://www.advancedenergy.com/

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③MFC

Brooks Instrument GmbH

メーカーカテゴリー：MFC他

Flow Control & Measurement | Flow Meters & Instruments | Brooks

Brooks Instrument is the global leader in flow and pressure instrumentation, enabling precision process control for industrial and semiconductor applications.

https://www.brooksinstrument.com/

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④真空バルブ

VAT Deutschland GmbH

メーカーカテゴリー：真空バルブ製造

www.vatgroup.com

https://www.vatgroup.com/

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⑤真空ポンプ

Pfeiffer Vacuum

メーカーカテゴリー：真空ポンプ、コンポーネント他

Vacuum Technology & Pumps | Industry Leader in Vacuum Solutions

High-quality vacuum technology from Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions: Reliable products, engineering and first-class service. Your experts for vacuum!

https://www.pfeiffer-vacuum.com/

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Shimadzu/Infraserv Vakuumservice GmbH

メーカーカテゴリー：TMP

Vakuumpumpen Neupumpen und Gebrauchtpumpen Reparatur und Service für Vakuumanlagen Lecksucher und Vakuumpumpen

https://vakuumservice.de/

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⑥Depo.Source

Gencoa

メーカーカテゴリー：Plasma Monitor, Cathode

Gencoa // Perfect your process

Gencoa is a vacuum coating company providing vacuum technology and vacuum coating solutions. Learn about our range of magnetrons and process control equipment today.

https://www.gencoa.com/

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Sputtering Components

メーカーカテゴリー：ロータリー・カソード製造

Sputtering Components: Equipment for thin film technology

Rotary cathodes, magnetrons for sputtering thin films on glass, touch and display screens, solar panels, automotive and decorative parts, optics, electronics

https://www.sputteringcomponents.com/

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TFC GmbH

メーカーカテゴリー：各種マグネトロン・カソード、他

Home TFC - TFC GmbH

Taking care for our customers needs and for market demands for more than 30 years. The basics of the IONIX® planar magnetrons is our passion for technology

https://www.tfc-gmbh.eu/

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